中企正式官宣
芯片制造是一项非常复杂的工作,每一个环节至少需要几十道步骤,其中涉及的设备,材料和技术等等,都不能出现一点纰漏。芯片制造所用的光刻机,涂抹芯片所用的光刻胶以及使用设备制造芯片的制程技术等等,都要确保万无一失。
到底哪一个最重要,答案是缺一不可。但是要想实现芯片生产,还需一步步解决各项制造上的问题。比如制造芯片初步环节时的光刻胶。
光刻胶是一种材料,一颗芯片需要嵌入很多层的集成电路,架构其一层层的电路。可是晶体管集成电路是容易受损的,为了保护芯片性能,会在表面涂抹光刻胶。
主要的作用在于保护,不同光刻胶对应不同工业集成电路芯片,越是复杂的高端芯片,则需要用上质量越好的光刻胶。一直以来,光刻胶产业都被日本掌握在手中,不过这一次中企巨头正式官宣好消息,事关光刻胶。
在晶瑞股份的2020年业绩说明会上,晶瑞股份董事长吴天舒表示道,公司已经对KrF(248nm深紫外)光刻胶完成了中试,分辨率达到了0.25~0.13μm的技术要求,并且建立起了中试示范线。
中企巨头晶瑞股份官宣了旗下光刻胶产品的进展,这对国产光刻胶产业来说,是有重大意义的。另外晶瑞股份I/G线光刻胶产品已经能够用于8英寸车规级芯片的制造工作。
芯片制造难题,或得到解决?
晶瑞股份是国内领先的光刻胶巨头,有深厚的经验。值得一提的是,在高端光刻胶领域的探索方面,晶瑞股份也专门购得了一台光刻机。今年1月份中下旬晶瑞股份发布公告称,经过多方协作,成功购得ASML XT 1900 Gi 型光刻机菲律宾旅游签。
这台光刻机最高可用于分辨率达28nm的高端光刻胶,一旦成功研制出28nm光刻胶,将意味着国产光刻胶产业正在崛起。未来我国掌握先机的高端芯片制造工艺,在光刻胶重要材料上的问题,就能得到供应。
如此一来,芯片制造所面临的材料难题,或将得到解决。毕竟光刻胶也是芯片制造的重要步骤。而光刻机来了,想必进入到晶瑞股份的生产线也有一段日子。
不过需要注意的是,晶瑞股份购买的这台光刻机是二手的,而且并非用于生产芯片,而是用作研究目的。旨在通过该光刻机实现对高端光刻胶产品的研发,技术攻克。
国产光刻胶的崛起
芯片制造所需的材料问题,我们已经有了相应的布局和进步。在国产光刻胶领域,不只是晶瑞股份,包括南大光电的ArF光刻机也通过了客户验证,达到良率要求的水准。
而且除了晶瑞股份购得光刻机之外,上海新阳购买的ASML-1400光刻机也完成交付,对193nmArF干法光刻胶的研发有重要意义。
晶瑞股份、南大光电、上海新阳等国内领先的光刻胶企业巨头们,都有了不错的国产光刻胶制造水准。后续需要做的就是在现有的基础上做得更好,把国产光刻胶逐步提升到高端水准。
国产光刻胶的崛起已经开始了,等高端光刻胶研发到位,芯片制造剩余的步骤环节,也必将一一攻破。
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